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电源介绍
INTRODUCTION OF POWER SUPPLY
BP系列双极溅射电源主要应用于等离子辅助薄膜沉积 PECVD 和双阴极溅射镀膜领域。以其优良的控制算法,能够提供稳定可靠的双极性输出,并对功率、电压、电流、频率和脉冲时间等提供精确的输出控制。
电源特点
CHARACTERISTICS OF POWER SUPPLY
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    采用模块化设计,按照行业标准设计。
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    波形和频率灵活可调。
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    双极性、单极性、直流、脉冲多种模式合一。
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    高稳态功率输出。输出稳定性±0.2%。
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    电弧主动抑制技术。
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    极快的电弧响应。
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    极低的电弧携带能量。小于 0.3mJ/kw 的能量携带。
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    丰富的通讯接口。
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    控制指令的快速响应。
技术参数
TECHNICAL PARAMETER
型号
Bipolar Sputtering BP-6030Bipolar Sputtering BP-6040Bipolar Sputtering BP-6060
输入参数

输入电压400V - 480V 10% (3+ PE,No Neutral)
输入频率
50/60Hz(45-65)Hz
最大输入电流3x66A3x88A3x 132A
输出参数
额定输出功率30kW
40kW60kW
电压范围0-600V/0-1000V0-600V/0-1000V0-600V/0-1000V
电流范围
0-125A/0-75A
0-166A/0-100A0-250A/0-150A
脉冲频率0,1Hz-100kHz

脉冲时间

Ton: 1-1000 ms  Toff: 1-1000 ms
工作模式功率、电压、电流    

输出精度

±0.5%
重复精度±0.2%
LCD

支持

RS232

支持

PROFIBUS/RS485支持
EtherCAT支持
模拟量输入支持
ARC检测lmax、 Uxl、dU
ARC能量<0.3 mJ/kW
ARC处理时向<100ns
工作环境温度+5°C~+45°
存储环境温度-25°C~+55°
相对湿度5-85%无冷凝 No condensation
气压86-106kPa
防护等级IP40
外形尺寸
480mm x 356mm x 730mm480mm x 356mm x 730mm480mm x534mm x 730mm
重量98kg108kg148kg
绝缘阻抗
>5MQ
效率

>90%

冷却方式水冷 Water coling


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